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直流四探針電阻率測試儀通用技術條件

來源✘·◕↟│:技術文章    釋出時間✘·◕↟│:2022-05-23    瀏覽✘·◕↟│:207次

由四探針探頭╃•╃◕•、直流恆流電源和測量儀表等組成╃↟✘·。用規定的壓力將探頭上四根探針與被測樣品表面形成歐姆接觸◕◕││↟,在其二根探針上通以電流╃↟✘·。
其它以四探針法為基礎的六探針╃•╃◕•、交直流四探針電阻率╃•╃◕•、薄層電阻測試儀可參照使用╃↟✘·。本標準不包括四探針探頭標準╃↟✘·。
四探針測試儀面板上的文字元號和標誌清楚無誤◕◕││↟,符合有關標準規定╃↟✘·。位移機構的動作應平穩◕◕││↟,操作方便◕◕││↟,噪聲小╃↟✘·。
除下述術語外◕◕││↟,本標準所採用的電工名詞術語╃•╃◕•、四探針探頭名詞術語分別按GB2900.1《電工名詞術語╃•╃◕•、基本名詞術語》和SJ/T10315《四探針探頭通用技術條件》的標準規定╃↟✘·。
GB191 包裝儲運圖示標誌;
使用直線形排列與正方形排列的四探針測試儀◕◕││↟,電阻率的基本計算公式及公式的使用條件等見附錄A╃↟✘·。
修正係數◕◕││↟,當探針間距╃•╃◕•、被測樣品的幾何形狀與尺寸等滿足不了基本公式所要求的理想條件時◕◕││↟,需要在基本公式中附加一些係數進行修正◕◕││↟,這些係數稱為修正係數╃↟✘·。
安全要求✘·◕↟│:電源輸入端與機殼間的絕緣電阻應大於500MΩ╃↟✘·。電源進線應有保險器╃↟✘·。電源輸入端與機殼間應能承受1500V(有效值)交流電壓歷時1分鐘◕◕││↟,無擊穿與飛弧現象╃↟✘·。
四探針測試儀的表面平整光滑◕◕││↟,無劃痕╃•╃◕•、壓傷╃•╃◕•、變形╃•╃◕•、鏽蝕現象◕◕││↟,塗復層不得脫落╃↟✘·。零部件的安裝應牢固無鬆動◕◕││↟,有防鬆動措施◕◕││↟,開關╃•╃◕•、旋鈕的調節應方便◕◕││↟,操作應靈活╃↟✘·。
具有空調的專用清潔室;室內無強電磁場干擾◕◕││↟,無強光直接照射◕◕││↟,沒有明顯的振動和波動╃↟✘·。電源要求✘·◕↟│:電壓✘·◕↟│:(220±10%)V;頻率✘·◕↟│:(50±1%)Hz;波形✘·◕↟│:正弦波╃↟✘·。
GB6615 矽片電阻率的直排四探針測試方法;
技術要求✘·◕↟│:外觀結構要求◕◕││↟,四探針測試儀的外觀結構應符合下列原則◕◕││↟,佈局合理╃•╃◕•、美觀大方╃•╃◕•、結構緊湊╃•╃◕•、顯示清晰╃•╃◕•、操作方便╃•╃◕•、易於維修╃↟✘·。
在另外兩探針上測量其電位差◕◕││↟,利用通入的電流和測量的電位差等資料◕◕││↟,以及相應公式經過運算處理得到被測量的引數╃↟✘·。
薄層電阻 R 材料內平行於電流方向的電勢梯度除以電流密度與材料厚度的乘積◕◕││↟,當厚度趨近於零時◕◕││↟,其值為薄層電阻╃↟✘·。
JJG508 四探針電阻率測試儀檢定規程;
各修正係數的定義╃•╃◕•、計算公式╃•╃◕•、使用條件等見附錄A╃↟✘·。直流四探針電阻率測試儀◕◕││↟,用來測試材料電阻率╃•╃◕•、薄層電阻和電阻的探針測試裝置╃↟✘·。
GB11073 矽片徑向電阻率變化的測試方法;
探頭外觀要求應符合SJ/T10315標準的規定╃↟✘·。使用環境要求◕◕││↟,大氣壓✘·◕↟│:(86~106)kPa;溫度✘·◕↟│:(23±5)℃;相對溼度✘·◕↟│:不大於65%;
SJ1889 電子測量儀器可靠性試驗方案;
本標準規定了直流四探針電阻率測試儀(以下簡稱四探針測試儀)的主要技術性能╃•╃◕•、測試方法╃•╃◕•、檢測規則╃•╃◕•、包裝╃•╃◕•、運輸╃•╃◕•、貯存要求等╃↟✘·。

SJ/T10315 四探針探頭通用技術條件;
形式上為薄層電阻率除以材料厚度◕◕││↟,單位為歐姆/方塊(Ω/□)╃↟✘·。使用直線形排列和正方形排列的四探針測試儀◕◕││↟,薄層電阻R的基本計算公式及公式的使用條件等見附錄A╃↟✘·。
本標準適用於電子和冶金等行業生產與科研中測量半導體╃•╃◕•、金屬薄層等的電阻率╃•╃◕•、薄層電阻和電阻的直流四探針測試儀╃↟✘·。
SJT 10314-1992 直流四探針電阻率測試儀通用技術條件
電阻率  材料內平行於電流方向的電勢梯度與電流密度之比◕◕││↟,又稱體電阻率◕◕││↟,單位為歐姆·釐米(Ω·cm)╃↟✘·。
GB2900.1 電工名詞術語◕◕││↟,基本名詞術語;

 

新四探針221_副本.jpg

 

主營產品✘·◕↟│:電壓擊穿試驗儀◕◕││↟,介電常數介質損耗測試儀◕◕││↟,體積表面電阻率測試儀◕◕││↟,海綿泡沫落球回彈試驗儀◕◕││↟,介電常數測試儀◕◕││↟,體積電阻率測試儀◕◕││↟,海綿泡沫壓陷硬度試驗儀◕◕││↟,介電擊穿強度試驗儀◕◕││↟,橡膠塑膠滑動摩擦磨損試驗機◕◕││↟,耐電弧試驗儀◕◕││↟,毛細管流變儀◕◕││↟,自動進樣器◕◕││↟,電氣強度試驗機◕◕││↟,歡迎來電諮詢╃↟✘·。
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