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導電材料四探針技術引數與操作

來源↟·↟☁·:技術文章    釋出時間↟·↟☁·:2020-08-03    瀏覽↟·↟☁·:1628次

 導電材料四探針技術引數與操作

(1.0×10-6 ~ 20.00×103Ω, 解析度0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)

顯示: 4位數字顯示╃│,小數點自動顯示

四探針測試探頭↟·↟☁·:

電阻率↟·↟☁·:當某種材料截成正方體時╃│,平行對面間的電阻值只與材料的類別有關╃│,而與正方形邊長無關╃│,這種單位體積的阻值可反映材料的導電特性╃│,稱為電阻率(體電阻率)╃│,記為↟·↟☁·:ρ╃│,標準單位↟·↟☁·:Ω-m,常用單位Ω-cm.

直徑↟·↟☁·:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm╃│,手持方式不限

薄片電阻率測量:

在半導體類電阻率或方阻測試中╃│,如果修正係數計算值遠小於1╃│,為了顯示讀取更多有效數字╃│,資料輸入可採用準科學記數法╃│,即有效數字取0.100≤X≤1.000╃│,指數(單位)取值10-3~103◕•╃。

測量資料

誤差↟·↟☁·:±0.2%FSB±2LSB

儀器成套組成↟·↟☁·:由主機₪◕✘││、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成◕•╃。

電阻率↟·↟☁·:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 解析度1.0×10-6 ~ 0.1×103  Ω-cm

儀器適用於半導體材料廠器件廠₪◕✘││、科研單位₪◕✘││、高等院校對導體₪◕✘││、半導體₪◕✘││、類半導體材料的導電效能的測試◕•╃。

主機  245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高)

數字電壓表↟·↟☁·:

工作室內應無強電磁場干擾╃│,不與高頻裝置共用電源◕•╃。

棒狀₪◕✘││、塊狀樣品電阻率測量╃│,符合半無窮大的邊界條件:

溫度↟·↟☁·:    0-40℃

SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm╃│,手持方式不限.

相對溼度↟·↟☁·:    ≥60%

設定修正係數注意事項↟·↟☁·:參照表5.1和附表1和附表2

外形尺寸↟·↟☁·:

本產品不但提供了電阻率ρ₪◕✘││、方塊電阻R口以及體電阻R測試的基本修正係數設定╃│,還提供了產品厚度G₪◕✘││、外形和測試位置的修正係數D設定╃│,及大的提高了測試精度◕•╃。測試類別的快捷選擇方式╃│,方便了使用者同時測試多個引數╃│,提高測試效率◕•╃。

修正係數   

技術引數測量範圍₪◕✘││、解析度(括號內為拓展量程╃│,可定製)

    注意╃↟··!測量狀態中╃│,電流量程預設為自動方式╃│,也可調整為手動方式╃│,手動方式下╃│,電流量程適合的╃│,儀器會穩定顯示資料╃│,電流量程不適合的會給出超量程或欠量程閃爍提示╃│,對於超量程╃│,說明電流過大╃│,要調到較小電流檔;對於欠量程╃│,說明電流過小╃│,要調到較大電流檔◕•╃。

BEST-300C測試儀能夠測量半導體材料體電阻率ρ₪◕✘││、方塊電阻(薄片電阻率)R口以及體電阻R╃│,測量時需調整相應的修正係數和選擇相應的功能◕•╃。

電源↟·↟☁·:功 耗↟·↟☁·:< 15W╃│,輸入:220V±10%   50Hz±2%

設定電阻率基本系數□↟·↟☁·:╃│,參照表5.1╃│,厚度修正G忽略╃│,形狀位置修正D<1.000, D(d/S)要查附表2╃│,只讀結果◕•╃。

資料輸入規則說明及示例

操作概述↟·↟☁·:

電阻↟·↟☁·:10.0×10-6 ~ 200.0×103Ω, 解析度1.0×10-6 ~ 0.1×103  Ω

數控恆流源

概述BEST-300C型材料電導率測試儀是運用四探針測量原理測試試導體₪◕✘││、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器◕•╃。該儀器設計符合單晶矽物理測試方法國家標準並參考美國 A.S.T.M 標準◕•╃。

電阻率ρ=R口×W×D(d/S),式中W↟·↟☁·:樣品厚度(cm), D(d/S)查附表2◕•╃。

材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

對於電阻器類樣品╃│,用四端子測試線按照圖5-1連線好樣品╃│,對於半導體材料╃│,測試前表面應進行必要的處理◕•╃。如圖5-2╃│,對於矽材料要進行噴砂或清潔處理╃│,對於薄膜類的要保持表面清潔╃│,必要的要進行清潔◕•╃。樣品放在平整的檯面上◕•╃。將測試探頭的插頭與主機的輸入插座連線起來╃│,連線好探頭和主機◕•╃。將電源開關置於開啟位置╃│,數字顯示亮◕•╃。儀器醉好預熱15分鐘以上╃│,增加讀數穩定性◕•╃。

電流輸出↟·↟☁·:直流電流0.1μA~1.0A╃│,系統自動調整◕•╃。

探頭選配↟·↟☁·:根據不同材料特性需要╃│,探頭可有多款選配◕•╃。有高耐磨碳化鎢探針探頭╃│,以測試矽類半導體₪◕✘││、金屬₪◕✘││、導電塑膠類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭╃│,可測柔性材料導電薄膜₪◕✘││、金屬塗層或薄膜₪◕✘││、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或奈米塗層等半導體材料的電阻率/方阻◕•╃。換上四端子測試夾具╃│,還可對電阻器體電阻₪◕✘││、金屬導體的低₪◕✘││、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量◕•╃。配探頭╃│,也可測試電池極片等箔上塗層電阻率方阻◕•╃。

測試準備↟·↟☁·:

方塊電阻↟·↟☁·:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□解析度5.0×10-6 ~ 0.5×103  Ω/□

設定電阻率基本系數C╃│,參照表5.1╃│, 厚度修正G=1.000,形狀位置修正D=1.000╃│,只讀結果◕•╃。

本儀器工作條件為↟·↟☁·:

當薄片厚度與針距比W/S<0.5時,可以先測方阻╃│,再人工計算厚度和位置形狀修正◕•╃。

方塊電阻↟·↟☁·:薄膜類導體₪◕✘││、半導體材料截成薄層正方形時╃│,平行對邊間的電阻值只與材料的類別(電阻率)和厚度有關╃│,而與正方形邊長無關╃│,這種單位面積的對邊間的阻值可反映薄膜的導電特性和厚度資訊╃│,稱為方塊電阻╃│,簡稱方阻◕•╃。記為↟·↟☁·:R□╃│,標準單位↟·↟☁·:Ω/□

在設定模式下(設定完畢╃│,儲存好資料後)╃│,選擇測量類別(電阻率ρ₪◕✘││、方塊電阻(薄片電阻率)R口或體電阻R中三選一╃│,切換儀器到“測量”模式╃│,視窗左側“測量”模式燈亮◕•╃。電阻測量,注意良好接觸╃│,電壓測試端在內側;半導體引數測試╃│,將探針與樣品良好接觸╃│,注意壓力要適中;由數字顯示窗直接讀出測量值◕•╃。

當薄片厚度與針距比W/S>0.5時╃│, 設定電阻率基本系數C╃│,參照表5.1╃│,厚度修正G<1.000,形狀位置修正D<1.000,具體值G(W/S)和D(d/S)要查附表1和附表2╃│,只讀結果◕•╃。

電阻測量:

(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm  解析度0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)

方塊電阻測量:

有選配的型號確定╃│,詳見《不同半導體材料電阻率/方阻測試的四探針探頭和測試臺選配方法》

(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□  解析度0.5×10-6 ~ 0.1×103  Ω/□)

量程↟·↟☁·: 20.00mV

誤差↟·↟☁·:±0.2%FSB±2LSB

大分辨力↟·↟☁·:1.0μV

長(高)度↟·↟☁·:  測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

設定R=1.000◕•╃。╃│,其他可以忽略◕•╃。只讀結果◕•╃。

儀器具有測量範圍寬₪◕✘││、精度高₪◕✘││、靈敏度高₪◕✘││、穩定性好₪◕✘││、智慧化程度高₪◕✘││、外形美觀₪◕✘││、使用簡便等特點◕•╃。

主機主要由數控恆流源╃│,高解析度ADC₪◕✘││、嵌入式微控制器系統組成◕•╃。自動/手動量程可選;電阻率₪◕✘││、方阻₪◕✘││、電阻測試類別快捷切換↟·↟☁·:儀器所有引數設定₪◕✘││、功能轉換全部採用數字化鍵盤輸入╃│,簡便可靠;具有零位₪◕✘││、滿度自校功能;測試結果由數字表頭直接顯示◕•╃。本測試儀採用可充電鋰電池供電╃│,適合手持式變動場合操作使用╃↟··!

北京北廣精儀主營產品↟·↟☁·:萬能材料試驗機(拉力機)₪◕✘││、電壓擊穿試驗儀₪◕✘││、體積表面積電阻率測試儀₪◕✘││、介電常數與介質損耗測試儀₪◕✘││、低溫脆性衝擊試驗儀₪◕✘││、耐電弧效能試驗儀₪◕✘││、高壓漏電起痕試驗儀₪◕✘││、環境試驗箱₪◕✘││、維卡熱變形試驗儀₪◕✘││、轉子硫化儀₪◕✘││、熔體流動速率儀₪◕✘││、水平垂直燃燒試驗儀₪◕✘││、門尼粘度試驗儀₪◕✘││、阿克隆磨耗試驗機₪◕✘││、氣動衝片機₪◕✘││、手動衝片機₪◕✘││、滑動摩擦磨損試驗機₪◕✘││、啞鈴制樣機₪◕✘││、簡支梁衝擊試驗機₪◕✘││、懸臂樑衝擊試驗機₪◕✘││、氧指數測定儀₪◕✘││、水分測定儀₪◕✘││、海綿密度測定儀₪◕✘││、橡膠回彈儀等◕•╃。

主營產品↟·↟☁·:電壓擊穿試驗儀╃│,介電常數介質損耗測試儀╃│,體積表面電阻率測試儀╃│,海綿泡沫落球回彈試驗儀╃│,介電常數測試儀╃│,體積電阻率測試儀╃│,海綿泡沫壓陷硬度試驗儀╃│,介電擊穿強度試驗儀╃│,橡膠塑膠滑動摩擦磨損試驗機╃│,耐電弧試驗儀╃│,毛細管流變儀╃│,自動進樣器╃│,電氣強度試驗機╃│,歡迎來電諮詢◕•╃。
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