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半導電電阻率測試儀四探針操作說明

來源•₪✘✘:技術文章    釋出時間•₪✘✘:2020-06-10    瀏覽•₪✘✘:2359次

概述BEST-300C型材料電導率測試儀是運用四探針測量原理測試試導體▩·•│、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器│☁✘☁。該儀器設計符合單晶矽物理測試方法國家標準並參考美國 A.S.T.M 標準│☁✘☁。

儀器成套組成•₪✘✘:由主機▩·•│、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成│☁✘☁。

主機主要由數控恆流源✘✘,高解析度ADC▩·•│、嵌入式微控制器系統組成│☁✘☁。自動/手動量程可選;電阻率▩·•│、方阻▩·•│、電阻測試類別快捷切換•₪✘✘:儀器所有引數設定▩·•│、功能轉換全部採用數字化鍵盤輸入✘✘,簡便可靠;具有零位▩·•│、滿度自校功能;測試結果由數字表頭直接顯示│☁✘☁。本測試儀採用可充電鋰電池供電✘✘,適合手持式變動場合操作使用✘╃·•!

探頭選配•₪✘✘:根據不同材料特性需要✘✘,探頭可有多款選配│☁✘☁。有高耐磨碳化鎢探針探頭✘✘,以測試矽類半導體▩·•│、金屬▩·•│、導電塑膠類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭✘✘,可測柔性材料導電薄膜▩·•│、金屬塗層或薄膜▩·•│、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或奈米塗層等半導體材料的電阻率/方阻│☁✘☁。換上四端子測試夾具✘✘,還可對電阻器體電阻▩·•│、金屬導體的低▩·•│、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量│☁✘☁。配探頭✘✘,也可測試電池極片等箔上塗層電阻率方阻│☁✘☁。

儀器具有測量範圍寬▩·•│、精度高▩·•│、靈敏度高▩·•│、穩定性好▩·•│、智慧化程度高▩·•│、外形美觀▩·•│、使用簡便等特點│☁✘☁。

儀器適用於半導體材料廠器件廠▩·•│、科研單位▩·•│、高等院校對導體▩·•│、半導體▩·•│、類半導體材料的導電效能的測試│☁✘☁。

技術引數測量範圍▩·•│、解析度(括號內為拓展量程✘✘,可定製)

電阻•₪✘✘:10.0×10-6 ~ 200.0×103Ω, 解析度1.0×10-6 ~ 0.1×103  Ω

(1.0×10-6 ~ 20.00×103Ω, 解析度0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)

電阻率•₪✘✘:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 解析度1.0×10-6 ~ 0.1×103  Ω-cm

(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm  解析度0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)

方塊電阻•₪✘✘:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□解析度5.0×10-6 ~ 0.5×103  Ω/□

(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□  解析度0.5×10-6 ~ 0.1×103  Ω/□)

材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

直徑•₪✘✘:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm✘✘,手持方式不限

SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm✘✘,手持方式不限.

長(高)度•₪✘✘:  測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

數字電壓表•₪✘✘:

量程•₪✘✘: 20.00mV

誤差•₪✘✘:±0.2%FSB±2LSB

大分辨力•₪✘✘:1.0μV

顯示: 4位數字顯示✘✘,小數點自動顯示

數控恆流源

電流輸出•₪✘✘:直流電流0.1μA~1.0A✘✘,系統自動調整│☁✘☁。

誤差•₪✘✘:±0.2%FSB±2LSB

四探針測試探頭•₪✘✘:

有選配的型號確定✘✘,詳見《不同半導體材料電阻率/方阻測試的四探針探頭和測試臺選配方法》

電源•₪✘✘:功 耗•₪✘✘:< 15W✘✘,輸入:220V±10%   50Hz±2%

本儀器工作條件為•₪✘✘:

溫度•₪✘✘:    0-40℃

相對溼度•₪✘✘:    ≥60%

工作室內應無強電磁場干擾✘✘,不與高頻裝置共用電源│☁✘☁。

外形尺寸•₪✘✘:

主機  245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高)

電阻率•₪✘✘:當某種材料截成正方體時✘✘,平行對面間的電阻值只與材料的類別有關✘✘,而與正方形邊長無關✘✘,這種單位體積的阻值可反映材料的導電特性✘✘,稱為電阻率(體電阻率)✘✘,記為•₪✘✘:ρ✘✘,標準單位•₪✘✘:Ω-m,常用單位Ω-cm.

方塊電阻•₪✘✘:薄膜類導體▩·•│、半導體材料截成薄層正方形時✘✘,平行對邊間的電阻值只與材料的類別(電阻率)和厚度有關✘✘,而與正方形邊長無關✘✘,這種單位面積的對邊間的阻值可反映薄膜的導電特性和厚度資訊✘✘,稱為方塊電阻✘✘,簡稱方阻│☁✘☁。記為•₪✘✘:R□✘✘,標準單位•₪✘✘:Ω/□

BEST-300C測試儀能夠測量半導體材料體電阻率ρ▩·•│、方塊電阻(薄片電阻率)R口以及體電阻R✘✘,測量時需調整相應的修正係數和選擇相應的功能│☁✘☁。

本產品不但提供了電阻率ρ▩·•│、方塊電阻R口以及體電阻R測試的基本修正係數設定✘✘,還提供了產品厚度G▩·•│、外形和測試位置的修正係數D設定✘✘,極大的提高了測試精度│☁✘☁。測試類別的快捷選擇方式✘✘,方便了使用者同時測試多個引數✘✘,提高測試效率│☁✘☁。

操作概述•₪✘✘:

測試準備•₪✘✘:

對於電阻器類樣品✘✘,用四端子測試線按照圖5-1連線好樣品✘✘,對於半導體材料✘✘,測試前表面應進行必要的處理│☁✘☁。如圖5-2✘✘,對於矽材料要進行噴砂或清潔處理✘✘,對於薄膜類的要保持表面清潔✘✘,必要的要進行清潔│☁✘☁。樣品放在平整的檯面上│☁✘☁。將測試探頭的插頭與主機的輸入插座連線起來✘✘,連線好探頭和主機│☁✘☁。將電源開關置於開啟位置✘✘,數字顯示亮│☁✘☁。儀器醉好預熱15分鐘以上✘✘,增加讀數穩定性│☁✘☁。

測量資料

在設定模式下(設定完畢✘✘,儲存好資料後)✘✘,選擇測量類別(電阻率ρ▩·•│、方塊電阻(薄片電阻率)R口或體電阻R中三選一✘✘,切換儀器到“測量”模式✘✘,視窗左側“測量”模式燈亮│☁✘☁。電阻測量,注意良好接觸✘✘,電壓測試端在內側;半導體引數測試✘✘,將探針與樣品良好接觸✘✘,注意壓力要適中;由數字顯示窗直接讀出測量值│☁✘☁。

    注意✘╃·•!測量狀態中✘✘,電流量程預設為自動方式✘✘,也可調整為手動方式✘✘,手動方式下✘✘,電流量程適合的✘✘,儀器會穩定顯示資料✘✘,電流量程不適合的會給出超量程或欠量程閃爍提示✘✘,對於超量程✘✘,說明電流過大✘✘,要調到較小電流檔;對於欠量程✘✘,說明電流過小✘✘,要調到較大電流檔│☁✘☁。

設定修正係數注意事項•₪✘✘:參照表5.1和附表1和附表2

電阻測量:

設定R=1.000│☁✘☁。✘✘,其他可以忽略│☁✘☁。只讀結果│☁✘☁。

棒狀▩·•│、塊狀樣品電阻率測量✘✘,符合半無窮大的邊界條件:

設定電阻率基本系數C✘✘,參照表5.1✘✘, 厚度修正G=1.000,形狀位置修正D=1.000✘✘,只讀結果│☁✘☁。

薄片電阻率測量:

當薄片厚度與針距比W/S>0.5時✘✘, 設定電阻率基本系數C✘✘,參照表5.1✘✘,厚度修正G<1.000,形狀位置修正D<1.000,具體值G(W/S)和D(d/S)要查附表1和附表2✘✘,只讀結果│☁✘☁。

當薄片厚度與針距比W/S<0.5時,可以先測方阻✘✘,再人工計算厚度和位置形狀修正│☁✘☁。

電阻率ρ=R口×W×D(d/S),式中W•₪✘✘:樣品厚度(cm), D(d/S)查附表2│☁✘☁。

方塊電阻測量:

設定電阻率基本系數□•₪✘✘:✘✘,參照表5.1✘✘,厚度修正G忽略✘✘,形狀位置修正D<1.000, D(d/S)要查附表2✘✘,只讀結果│☁✘☁。

資料輸入規則說明及示例

修正係數   

在半導體類電阻率或方阻測試中✘✘,如果修正係數計算值遠小於1✘✘,為了顯示讀取更多有效數字✘✘,資料輸入可採用準科學記數法✘✘,即有效數字取0.100≤X≤1.000✘✘,指數(單位)取值10-3~103│☁✘☁。

主營產品•₪✘✘:電壓擊穿試驗儀✘✘,介電常數介質損耗測試儀✘✘,體積表面電阻率測試儀✘✘,海綿泡沫落球回彈試驗儀✘✘,介電常數測試儀✘✘,體積電阻率測試儀✘✘,海綿泡沫壓陷硬度試驗儀✘✘,介電擊穿強度試驗儀✘✘,橡膠塑膠滑動摩擦磨損試驗機✘✘,耐電弧試驗儀✘✘,毛細管流變儀✘✘,自動進樣器✘✘,電氣強度試驗機✘✘,歡迎來電諮詢│☁✘☁。
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